分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。 分子泵在電機的帶動下高速旋轉,采用變頻電源驅動電機,目的是得到較高的轉速...
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