高真空抽氣機組在分子流狀態下工作,與低真空機組相比,其特點是工作壓力較低(10-2~10-6Pa)、排氣量小、抽速大。機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦升華泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接...
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