油擴(kuò)散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的,故有如水蒸汽噴射泵相似的特點(diǎn)。 不同點(diǎn)是擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域,其工作壓強(qiáng)范圍為10-2~10-6pa。廣泛用于電子...
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