冷陰極電離真空計是一種相對真空計。它由規(guī)管和測量電路兩部分組成。圖17示出冷陰極電離真空計的示意圖。 冷陰極電離真空計與熱陰極電離真空計一樣，是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電...